洁净室一般包括洁净区、准洁净区和辅助区三部分。

洁净室的平面布置可以有以下几种方式

外廊环绕式:外廊可以有窗和无窗,兼作参观和放置些设备用,有的在外廊内设值班采暖。外窗必须是双层密封窗。

内廊式:洁净室设在外围,而走廊设在内部,这种走廊的洁净度级别般都较高,甚至和洁净室同级

两端式:洁净区设在边,边设准洁净和辅助用房

核心过式:为了节约用地缩短管线,可以洁净区为核心,上下左右被各种辅助用房和隐蔽管道的空间包围起来,这种方式避开室外气候对洁净区的影响,减少了冷热能耗,利于节能。